Сверхполированные подложки или зеркала
Техника суперполировки:
Для некоторых требовательных применений, таких как лазеры глубокого ультрафиолетового диапазона (DUV), ультра-высокомощные лазерные системы и кольцевые лазерные гироскопы, высокое отражение и низкое рассеяние зеркал являются одними из самых важных и критичных характеристик. Для этого требуются подложки с микрошероховатостью, которые позволяют создавать зеркала с необходимыми свойствами.
Техника суперполировки — это метод изготовления, часто используемый для производства сверхполированных подложек зеркал для оптических применений. Компания Hangzhou Shalom EO разработала эффективную и надежную технику суперполировки, модифицируя классический метод суперполировки. Оптические подложки или зеркала, произведенные с помощью нашей техники, имеют шероховатость менее 1Å при больших масштабах производства и обеспечивают быструю доставку для наших клиентов. Наш отдел контроля качества использует атомно-силовой микроскоп для измерения шероховатости и интерферометр Zygo для проверки плоскостности, где реализуется строгий и стандартизированный контроль качества. Доступны различные суперполированные подложки и зеркала из различных материалов, включая BK7, ультрафиолетовый плавленый кремний (UV Fused Silica), ZERODUR, ZnSe, ZnS, Ge, Si, CaF2, MgF2 и сапфир, а также зеркала для кольцевых лазерных гироскопов.
Уникальный классический метод полировки:
Хотя метод магнитореологической (MR) полировки (где оптические поверхности обрабатываются с помощью компьютерно управляемой магнитореологической суспензии) кажется перспективным для достижения крайне низкой шероховатости при изготовлении оптики, его высокая стоимость и низкая производительность делают его непрактичным для промышленного производства. Поэтому большинство сверхполированных оптических компонентов изготавливаются классическими методами полировки. Компания Shalom EO разработала уникальную модификацию классической техники полировки для производства сверхполированных зеркал и подложек. Shalom EO способна производить сверхполированные зеркала и подложки с шероховатостью менее 1Å, отсутствием царапин и вкраплений в центральной области и превосходным отражением благодаря нашей передовой технике полировки. Результаты тестирования, полученные с использованием атомно-силового микроскопа и интерферометра Zygo, показаны на рисунках ниже:
Результаты проверки:
1. Проверка атомно-силовым микроскопом
Рисунок 1. Шероховатость суперполированной поверхности, измеренная атомно-силовым микроскопом (AFM)
(подложка из плавленого кремния диаметром 200 мм, Ra=0.28 нм)
2. Проверка интерферометром Zygo
Плоскостность суперполированной поверхности, измеренная интерферометром Zygo
(подложка из плавленого кремния диаметром 300 мм, PV=0.101 волна @633 нм)
Related Products
Tags: Сверхполированные подложки или зеркала