Технические характеристики:
| Характеристики материала | ZnSe, ZnS | Ge, Si, CaF2, MgF2 | Плавленый кварц, BK7. Зеродур | Сапфир |
| Диаметр | до Φ300 мм | до Φ300 мм | до Φ350 мм | до Φ300 мм |
| PV | PV≤0,1λ @ 632,8 нм | PV≤0,1λ @ 632,8 нм | PV≤0,1λ @ 632,8 нм | PV≤0,15λ при 632,8 нм |
| среднеквадратичное значение | среднеквадратичное значение≤0,02λ при 632,8 нм | среднеквадратичное значение≤0,02λ при 632,8 нм | среднеквадратичное значение≤0,02λ при 632,8 нм | среднеквадратичное значение≤0,03λ при 632,8 нм |
| Шероховатость | ≤0.2нм | ≤0.2нм | ≤0.1нм | ≤0.2нм |
Для некоторых требовательных приложений, таких как лазеры DUV (глубокий ультрафиолет), лазерные системы сверхвысокой мощности и кольцевые лазерные гироскопы, высокие потери на отражение и низкие потери на рассеяние зеркал являются одними из наиболее критических факторов, когда подложки с шероховатостью до микрометров являются наиболее важными. требуется для производства зеркал, подходящих для применения.
Техника суперполировки — это технология изготовления, часто используемая для изготовления суперполированных зеркальных подложек для оптических применений. Компания Hangzhou Shalom EO разработала эффективную и надежную технику суперполировки, модифицировав классический метод суперполировки. Оптические подложки или зеркала, изготовленные с помощью нашей технологии, имеют шероховатость менее 1 Å в больших производственных масштабах и гарантируют быструю доставку для наших клиентов. Наш отдел контроля включает в себя систему измерения шероховатости Atom Force и прибор для измерения интерференционной плоскостности Zygo, где мы осуществляем строгий и стандартный контроль качества. В дополнение к зеркалам для кольцевых гироскопических лазеров доступны различные суперполированные подложки зеркал из различных материалов, включая BK7, УФ-плавленный кварц, Zerodur, ZnSe, ZnS, Ge, Si, CaF2, MgF2 и сапфир.
Хотя метод полировки магнитореологической (МР) жидкостью (когда оптические поверхности полируются в магнитореологической чистовой суспензии с компьютерным управлением) кажется многообещающим подходом для достижения чрезвычайно низкой шероховатости при изготовлении оптики, его высокая стоимость и неэффективная производительность делают его непрактично для промышленного применения. Поэтому большая часть суперполированной оптики изготавливается традиционными и классическими методами полировки. Шалом Э.О. разработал уникальную модификацию классической технологии полировки для производства суперполированных зеркал и зеркальных подложек. В процессе обработки в качестве монтажного инструмента используются шаговые пластины. Shalom EO способен создавать суперполированные зеркала и зеркальные подложки с шероховатостью <1 Å, царапинами 0/0 в центральной области и превосходным отражением благодаря нашей современной технологии полировки.
Результаты проверки:
1. Проверка атомно-силовым микроскопом
Рисунок 1. Шероховатость суперполированной поверхности, измеренная атомно-силовым микроскопом (АСМ)
(Подложка из плавленого кварца диаметром 200 мм, Ra=0,28 нм)
2. Проверка интерферометра Зиго
Измерение плоскостности суперполированной поверхности интерферометром Зиго
(Подложка из плавленого кварца диаметром 300 мм, PV = 0,101 волны при 633 нм)
