Характеристики:
Примечание. Ниже перечислены характеристики стандартных стеклянных пластин и подложек, а также других нестандартных модулей с диаметром до 450 мм и минимальной толщиной 30 мкм доступны.
Элемент (стандартный) | 4 дюйма | 6 дюймов | 8 дюймов | 12 дюймов |
Марки и материалы | SCHOTT Borofloat33/B270/BK7/D263, Corning Eagle XG/Pyrex, CDGM H-K9L/H-ZF/MJB5, натриево-известковое стекло | |||
Диаметр (круглой или квадратной формы) | 100 мм | 150 мм | 200 мм | 300 мм |
Допуск на размер | ±0,3 мм | ±0,3 мм | ±0,3 мм | ±0,5 мм |
Толщина | ≥0,15 мм | ≥0,25 мм | ≥0,3 мм | ≥0,3 мм |
Основная квартира | 32±2 мм | 57,5/42±2 мм | Вырез | Вырез |
LTV (5x5 мм) | <1 мкм | <1 мкм | <1 мкм | <2 мкм |
TTV | <1,5 мкм | <3 мкм | <5 мкм | <5 мкм |
Лук | ±20 мкм | ±30 мкм | ±40 мкм | ±50 мкм |
Деформация | ≤25 мкм | ≤30 мкм | ≤50 мкм | ≤60 мкм |
PLTV (0,5 мкм в пределах 5x5 мм) | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≤95% |
Скос края | Согласно стандарту IEC62276 и SEMI M1.2 | |||
шероховатость полированной стороны (Ra) | ≤1 нм | |||
Качество поверхности, S/D | 40/20 |
Стеклянные пластины и подложки представляют собой тонкие диски или квадраты из стеклянных материалов. Термин «стекло» означает стекловидное твердое тело, образовавшееся в результате быстрого охлаждения после нагревания до жидкого состояния.
Shalom EO предлагает стеклянные пластины и подложки, изготовленные из стекла, эквивалентного SCHOTT Borofloat33/B270/D263/N-BK7/Zerodur, Corning Pyrex и Eagle XG, CDGM H-K9L/H-ZF/MJB5, а также обычного натриево-известкового стекла и т. д. Также доступны стеклянные подложки, покрытые проводящей пленкой ITO (оксид индия и олова) для ЖК-дисплеев (жидкокристаллических дисплеев). К преимуществам этих стеклянных материалов относятся превосходная термическая и химическая стабильность, отличные диэлектрические свойства, высокое спектральное оптическое пропускание и т. д., которые различаются в зависимости от типа стекла.
Пластины и подложки могут поставляться либо в полированном (одностороннем или двухстороннем варианте) для высококачественных применений, либо в неполированном исполнении по экономичным ценам, где Shalom EO использует безабразивную притирку и процесс обработки на станке с ЧПУ для достижения исключительно низкой общей толщины. Проверка (ТТВ), строгие геометрические отклонения и желаемая плоскостность. Перед поставкой в чистых помещениях проводятся тщательные проверки, чтобы гарантировать соответствие качества стандартам SEMI.
Наименьшая толщина составляет до 3 мкм, доступен широкий спектр коэффициентов теплового расширения, а другие характеристики (формы, размеры, выбор материала и т. д.) можно свободно настраивать. Мы также готовы предложить постоянство по вашему желанию.
Типичные области применения:
Особенности материалов:
БОРОПЛАТ33:
SCHOTT BOROFLOAT33 — это флоат-боросиликатное стекло, разработанное и обозначенное компанией SCHOTT GmbH. Благодаря химическому составу, состоящему из 81% силиката, 12% оксида бора и других незначительных добавок, высококачественный стеклянный материал имеет следующие характеристики:
Технический паспорт SCHOTT BOROFLOAT33
Б270/Н-БК7/Х-К9Л:
Относящиеся к семейству крон-стекла, B270/N-BK7/H-K9L обладают очень схожими характеристиками, наиболее отличительной из которых являются их выдающиеся оптические качества: однородный показатель преломления и замечательное пропускание. Когда дополнительные преимущества (чрезвычайно высокое пропускание УФ-излучения) УФ-плавленного кварца не требуются, SCHOTT B270/N-BK7 и CDGM H-K9L являются привлекательными кандидатами для изготовления оптических компонентов.
SCHOTT B270 (супербелое кронное стекло) обеспечивает отличное пропускание от УФ-А до ближнего ИК-диапазона без характерного поглощения в видимом диапазоне. Кроме того, он обладает высокой устойчивостью к солнечному излучению, поэтому наиболее распространенным его применением являются высококачественные оптические фильтры, сенсорные панели и т. д.
SCHOTT N-BK7 и его китайский заменитель H-K9L представляют собой оптическое боросиликатное кронен-стекло, особенно подходящее для производства высокоточной оптики, преимущественно в видимом спектре. Кроме того, N-BK7 и H-K9L практически не содержат пузырьков и включений, высокая однородность показателя преломления делает их превосходными для высокоэнергетических лазерных систем, метрологических систем и т. д.
Технический паспорт B270/N-BK7/H-K9L
ШОТТ ЗЕРОДУР:
SCHOTT ZERODUR — это непористая неорганическая стеклокерамика. Благодаря идеальному балансу стекловидного и кристаллического состояний стекло Zerodur имеет почти нулевое тепловое расширение и способно выдерживать колебания температуры без деформации. Поскольку химические и механические свойства стеклокерамики очень близки к свойствам обычного стекла, метод обработки обычного стекла также пригоден для стеклокерамики. Этот тип стекла особенно рекомендуется для астрономических применений, таких как телескопы и кольцевые лазерные гироскопы.
Технический паспорт SCHOTT ZERODUR
Корнинг Игл XG:
Corning Eagle XG — это щелочноземельное бороалюмосиликатное стекло. Легкий вес, пропускание 92% в видимом спектре и низкий допуск на плоскостность поверхности делают его идеальным выбором для жидкокристаллических дисплеев (ЖК-панелей) и обширных применений в электрооптической промышленности. Исключение ионов калия и натрия означает, что Corning Eagle XG более безопасен для окружающей среды.
Техническое описание Corning Eagle XG
CDGM H-ZF и MJB5:
H-ZF — это разновидность модифицированного плотного флинтового стекла, в котором оксид сурьмы заменяет исходный состав мышьяка, оксид титана и оксид ниобия заменяют состав свинца. По сравнению с традиционным стеклом ZF стекло H-ZF гораздо более экологично, поскольку не содержит радиоактивных элементов, сохраняя при этом такие характеристики, как высокий показатель преломления и низкое число Аббе. Стекло H-ZF особенно подходит для оптических линз.
MJB5 — это кристаллическое стекло высокой прочности, которое можно легко укрепить с помощью слоя, обеспечивающего химическую прочность на сжатие. Стекло MJB5 может широко применяться для изделий небольшой толщины (например, защитных панелей мобильных телефонов, часов и т. д.). Его механические свойства могут быть даже лучше, чем у сапфира после химической оптимизации.
Содово-известковое стекло
Натриево-известковое стекло является наиболее распространенным и дешевым стеклом, рекомендуемым для умеренного и обычного применения. Поскольку высокая температура плавления кварца требует высокой температуры для стеклования, чтобы уменьшить сложность изготовления, к оксиду кремния добавляют соду (Na2CO3), чтобы снизить температуру плавления, а другие добавки, такие как известь (CaO), служат для увеличения долговечности стекла.