click me!
  • Подложки и пластины стеклянные
  • Подложки и пластины стеклянные

Подложки и пластины стеклянные

  • Марки: SCHOTT Borofloat33/B270/D263/N-BK7/Zerodur, Corning Pyrex и Eagle XG, CDGM (Китай) H-K9L/H-ZF/MJB5
  • Технические характеристики соответствуют стандартам Проверены стандарты SEMI и контроль качества
  • Подложки и подложки из плавленого кварца  также доступно
  • Нестандартные размеры и формы по запросу.
  • Типичные области применения: полупроводниковые применения, подложки для покрытия оптических компонентов (Оптические зеркала, фильтры и т. д.), микрожидкостные чипы, ЖК-дисплеи и т. д.
Inquire Us  

Характеристики:

Примечание. Ниже перечислены характеристики стандартных стеклянных пластин и подложек, а также других нестандартных модулей с диаметром до 450 мм и минимальной толщиной 30 мкм доступны.

 

Элемент (стандартный) 4 дюйма 6 дюймов 8 дюймов 12 дюймов
Марки и материалы SCHOTT Borofloat33/B270/BK7/D263, Corning Eagle XG/Pyrex, CDGM H-K9L/H-ZF/MJB5, натриево-известковое стекло
Диаметр (круглой или квадратной формы) 100 мм 150 мм 200 мм 300 мм
Допуск на размер ±0,3 мм ±0,3 мм ±0,3 мм ±0,5 мм
Толщина ≥0,15 мм ≥0,25 мм ≥0,3 мм ≥0,3 мм
Основная квартира 32±2 мм 57,5/42±2 мм Вырез Вырез
LTV (5x5 мм) <1 мкм <1 мкм <1 мкм <2 мкм
TTV <1,5 мкм <3 мкм <5 мкм <5 мкм
Лук ±20 мкм ±30 мкм ±40 мкм ±50 мкм
Деформация ≤25 мкм ≤30 мкм ≤50 мкм ≤60 мкм
PLTV (0,5 мкм в пределах 5x5 мм) ≥95% ≥95% ≥95% ≤95%
Скос края Согласно стандарту IEC62276 и SEMI M1.2
шероховатость полированной стороны (Ra) ≤1 нм
Качество поверхности, S/D 40/20

Стеклянные пластины и подложки представляют собой тонкие диски или квадраты из стеклянных материалов. Термин «стекло» означает стекловидное твердое тело, образовавшееся в результате быстрого охлаждения после нагревания до жидкого состояния.

Shalom EO предлагает стеклянные пластины и подложки, изготовленные из стекла, эквивалентного SCHOTT Borofloat33/B270/D263/N-BK7/Zerodur, Corning Pyrex и Eagle XG, CDGM H-K9L/H-ZF/MJB5, а также обычного натриево-известкового стекла и т. д. Также доступны стеклянные подложки, покрытые проводящей пленкой ITO (оксид индия и олова) для ЖК-дисплеев (жидкокристаллических дисплеев). К преимуществам этих стеклянных материалов относятся превосходная термическая и химическая стабильность, отличные диэлектрические свойства, высокое спектральное оптическое пропускание и т. д., которые различаются в зависимости от типа стекла.

Пластины и подложки могут поставляться либо в полированном (одностороннем или двухстороннем варианте) для высококачественных применений, либо в неполированном исполнении по экономичным ценам, где Shalom EO использует безабразивную притирку и процесс обработки на станке с ЧПУ для достижения исключительно низкой общей толщины. Проверка (ТТВ), строгие геометрические отклонения и желаемая плоскостность. Перед поставкой в ​​чистых помещениях проводятся тщательные проверки, чтобы гарантировать соответствие качества стандартам SEMI.

Наименьшая толщина составляет до 3 мкм, доступен широкий спектр коэффициентов теплового расширения, а другие характеристики (формы, размеры, выбор материала и т. д.) можно свободно настраивать. Мы также готовы предложить постоянство по вашему желанию.

 

Типичные области применения:

  • Полупроводниковые приложения: подложки-носители для обработки тонких кремниевых пластин (3D IC, K RF IC и разветвленная упаковка).
  • Жидкокристаллическая панель дисплея (мы можем предложить модули, покрытые проводящей пленкой ITO)
  • 3D-изображение и зондирование
  • Доступны различные виды процессов склеивания, включая лазерное склеивание, анодное склеивание и другие.
  • Подложки для покрытия оптических компонентов (оптических зеркал, фильтров и т. д.)
  • Упаковка и защитные панели на уровне пластины
  • МЭМС (микроэлектромеханические системы), где стеклянные пластины могут использоваться в качестве герметичных корпусов и несущих подложек и т. д.
  • Лабораторные и биотехнологические исследования
  • Микрофлюидные чипы (наноимпринтная литография)
  • Оптические окна
  • Линзы для оптического изображения
  • Медицинское оборудование
  • Космические корабли и астрономические телескопы


Особенности материалов:

БОРОПЛАТ33:

SCHOTT BOROFLOAT33 — это флоат-боросиликатное стекло, разработанное и обозначенное компанией SCHOTT GmbH. Благодаря химическому составу, состоящему из 81% силиката, 12% оксида бора и других незначительных добавок, высококачественный стеклянный материал имеет следующие характеристики:

  • Превосходное оптическое пропускание в УФ-ИК-спектре и низкая флуоресценция.
  • Низкий коэффициент теплового расширения (1/3 натриево-известкового стекла) и высокая термостойкость (температура длительного использования до 450 ℃)
  • Выдающаяся химическая стабильность, устойчивость к воздействию воды, сильных щелочей и кислот.
  • Превосходные изоляционные качества обусловлены низким содержанием щелочи.

Технический паспорт SCHOTT BOROFLOAT33

Б270/Н-БК7/Х-К9Л:

Относящиеся к семейству крон-стекла, B270/N-BK7/H-K9L обладают очень схожими характеристиками, наиболее отличительной из которых являются их выдающиеся оптические качества: однородный показатель преломления и замечательное пропускание. Когда дополнительные преимущества (чрезвычайно высокое пропускание УФ-излучения) УФ-плавленного кварца не требуются, SCHOTT B270/N-BK7 и CDGM H-K9L являются привлекательными кандидатами для изготовления оптических компонентов.

SCHOTT B270 (супербелое кронное стекло) обеспечивает отличное пропускание от УФ-А до ближнего ИК-диапазона без характерного поглощения в видимом диапазоне. Кроме того, он обладает высокой устойчивостью к солнечному излучению, поэтому наиболее распространенным его применением являются высококачественные оптические фильтры, сенсорные панели и т. д.

SCHOTT N-BK7 и его китайский заменитель H-K9L представляют собой оптическое боросиликатное кронен-стекло, особенно подходящее для производства высокоточной оптики, преимущественно в видимом спектре. Кроме того, N-BK7 и H-K9L практически не содержат пузырьков и включений, высокая однородность показателя преломления делает их превосходными для высокоэнергетических лазерных систем, метрологических систем и т. д.

Технический паспорт B270/N-BK7/H-K9L

ШОТТ ЗЕРОДУР:

SCHOTT ZERODUR — это непористая неорганическая стеклокерамика. Благодаря идеальному балансу стекловидного и кристаллического состояний стекло Zerodur имеет почти нулевое тепловое расширение и способно выдерживать колебания температуры без деформации. Поскольку химические и механические свойства стеклокерамики очень близки к свойствам обычного стекла, метод обработки обычного стекла также пригоден для стеклокерамики. Этот тип стекла особенно рекомендуется для астрономических применений, таких как телескопы и кольцевые лазерные гироскопы.

Технический паспорт SCHOTT ZERODUR

Корнинг Игл XG:

Corning Eagle XG — это щелочноземельное бороалюмосиликатное стекло. Легкий вес, пропускание 92% в видимом спектре и низкий допуск на плоскостность поверхности делают его идеальным выбором для жидкокристаллических дисплеев (ЖК-панелей) и обширных применений в электрооптической промышленности. Исключение ионов калия и натрия означает, что Corning Eagle XG более безопасен для окружающей среды.

Техническое описание Corning Eagle XG

CDGM H-ZF и MJB5:

H-ZF — это разновидность модифицированного плотного флинтового стекла, в котором оксид сурьмы заменяет исходный состав мышьяка, оксид титана и оксид ниобия заменяют состав свинца. По сравнению с традиционным стеклом ZF стекло H-ZF гораздо более экологично, поскольку не содержит радиоактивных элементов, сохраняя при этом такие характеристики, как высокий показатель преломления и низкое число Аббе. Стекло H-ZF особенно подходит для оптических линз.

MJB5 — это кристаллическое стекло высокой прочности, которое можно легко укрепить с помощью слоя, обеспечивающего химическую прочность на сжатие. Стекло MJB5 может широко применяться для изделий небольшой толщины (например, защитных панелей мобильных телефонов, часов и т. д.). Его механические свойства могут быть даже лучше, чем у сапфира после химической оптимизации.

Содово-известковое стекло

Натриево-известковое стекло является наиболее распространенным и дешевым стеклом, рекомендуемым для умеренного и обычного применения. Поскольку высокая температура плавления кварца требует высокой температуры для стеклования, чтобы уменьшить сложность изготовления, к оксиду кремния добавляют соду (Na2CO3), чтобы снизить температуру плавления, а другие добавки, такие как известь (CaO), служат для увеличения долговечности стекла.