Высокоточные тонкие оптические окна из N-BK7 и УФ-плавленого кварца

Компания Hangzhou Shalom EO разработала метод двойной полировки поверхности для производства тонких высокоточных оптических окон или подложек, при котором поверхности окон или подложек полируются за один прием, обеспечивая точный контроль плоскостности поверхности и одновременно повышая качество поверхности до 10/. 5 С/Д. Высокоточные тонкие окна, производимые на нашем заводе, обладают выдающимися функциональными возможностями, которые могут соответствовать критериям ультратонких (0,1 мм, 0,2 мм) окон или подложек с высокой плоскостностью поверхности (Lambda/10 или Lambda/4 при 633 нм), ориентированных для приложений для прецизионных оптических систем, таких как фемтосекундные лазеры, доля рынка которых в последние годы стремительно растет.

Метод двойной полировки поверхности — это метод обработки, при котором обе поверхности оптики полируются за один проход. Во время процедуры оптика не устанавливается на наклонные пластины, поэтому не возникает проблем со снятием напряжений, вызванных соединением и отсоединением между полируемой оптикой и несущей пластиной, что в значительной степени исключает изменение плоскостности поверхности подложки окна. .

Тонкие окна высокой точности, изготовленные из BK7, кремнезема, плавленого УФ-излучением, и кристаллов кварца доступны в цвете Shalom EO. Окна имеют превосходное качество поверхности 10/5 Scratch/Dig, параллельность 10 угловых секунд, минимальная толщина до 0,03 мм, диаметр меньше. до 0,5 мм. N-BK7 подходит для длин волн от видимого до ИК-спектра (350-2000 нм), а УФ-плавленный кварц рекомендуется для УФ-диапазона из-за низкого поглощения в УФ-диапазоне. Оба они являются известными оптическими стеклянными материалами, обладающими значительной механической прочностью и термической стабильностью и способными выдерживать эксплуатацию в различных условиях. Кроме того, предусмотрены окна из кварцевого стекла.

Стандартные характеристики тонких окон BK7, UVFS и кварцевых окон, предлагаемых в Shalom EO, включают размеры 12,7x0,2 мм с плоскостностью λ/2, 12,7x1,0 мм с плоскостностью λ/10, 25,4x0,2 мм с плоскостностью λ/2 и 25,4x1 мм. 0,0 мм с плоскостностью λ/10, а также другие нестандартные размеры. Окна могут быть оснащены креплениями для удобства использования. Доступны как оконные подложки без покрытия, так и специальные антиотражающие покрытия.

Результат теста на помехи (измеренный Zygo)

Фемто-лазерные системы быстро развиваются в последние годы, поэтому одним из наиболее важных ее компонентов является спрос на ультратонкие (обычно 0,1 мм, 0,2 мм) окна или подложки с высокой плоскостностью поверхности (Lambda/10 или Lambda/4). @633 морских миль) растут.

Классический метод полировки одной поверхности, хотя он традиционно и широко используется при производстве высокоточных оптических изделий лазерного класса, практическая реализация доказала его сложность и ненадежность при обработке оптики с высокой плоскостностью и миниатюрной толщиной. Причина в том, что во время реальной операции классической полировки одной поверхности полированную оптику часто помещают на шаговую пластину для завершения процедуры полировки, делительная пластина и оптика часто соединяются, вызывая напряжение в оптике. Возможно, вам удастся добиться высокого качества поверхности (плоскостность поверхности и царапины/копания поверхности), пока оптика находится на шаговой пластине, но как только оптика отсоединяется, напряжение, возникающее в результате склеивания, естественным образом снимается, что приводит к небольшому изменению форму оптики, и плоскостность поверхности со временем снизится. Чем тоньше оптика, тем сильнее влияние снятия напряжений, поскольку даже самое незначительное отклонение плоскостности поверхности может быть значительным в отношении общей толщины. Добиться высокой плоскостности поверхности ультратонких окон всегда непросто для производителей.

Чтобы решить эту проблему, компания Hangzhou Shalom EO успешно разработала метод двойной полировки поверхности для обработки высокоточных оптических окон или подложек, при котором обе две поверхности оптики завершают процедуру полировки за один проход. Во время процедуры оптика не устанавливается на наклонные пластины, поэтому не возникает проблем со снятием напряжений, что эффективно устраняет изменение плоскостности поверхности после ее снятия с наклонных пластин. Метод двойной полировки поверхности ранее не применялся при изготовлении прецизионной оптики, поскольку готовая оптика, изготовленная этим методом, имеет дефект низкого качества поверхности (т.е. относительно более высокое S/D). Компания Hangzhou Shalom EO преодолела это препятствие, улучшив полировальный станок, успешно повысив качество поверхности до 10/5 S/D, одновременно используя преимущества метода двойной полировки, обеспечивающего точную плоскостность поверхности. Кроме того, превосходная параллельность (10 угловых секунд) также достигается на ультратонких окнах или подложках UVFS.