| Спецификация | |
| Верхний функциональный уровень | |
| Диаметр | 3, 4, 6 дюймов или другие нестандартные диаметры |
| Ориентация | Y-42, Y-46.3, Z и т. д. |
| Материал | LiTaO3 |
| Толщина | 300–900 нм |
| Изолирующий слой | |
| Материал | SiO2 |
| Толщина | 300–4000 морских миль |
| Подложка | |
| Материал | Да |
| Толщина | 400–500 мкм |
Модули или типы:
| Монокристаллическая тонкая пленка танталата лития |
| SiO2 |
| Кремниевые подложки |
Кристалл танталата лития (litao3) обладает превосходными пьезоэлектрическими и пироэлектрическими свойствами и широко используется для производства входных радиочастотных фильтров и пироэлектрических инфракрасных детекторов. Кристалл танталата лития принадлежит тригональной системе, точечной группе 3m и пространственной группе r3c. Из-за анизотропной структуры решетки разные ориентации имеют разные области применения. Например, в области радиочастотных интерфейсных устройств ориентация пластин танталата лития в основном включает разрез под углом 38 градусов по оси yx, разрез по оси yx 42 градуса, разрез по оси yx 50 градусов и т. д. В пироэлектрическом поле наиболее распространенной ориентацией является пластин LiTaO имеет z-разрез.
Наряду с быстрым развитием мобильной связи пятого поколения и Интернета вещей, входные радиочастотные фильтры развиваются в сторону более высоких рабочих частот, большей полосы пропускания и меньших размеров. Эта тенденция развития выдвигает растущий спрос на радиочастотные фильтры более высокой производительности. LTOI является привлекательным кандидатом для высокопроизводительных волновых фильтров, мобильных телефонов и беспроводной связи. Интеграция подложек на основе танталата лития и кремния для изготовления тонкой пьезоэлектрической пленки танталата лития на основе кремния (танталат лития на изоляторе, LTOI) откроет новый путь производства волновых фильтров с высоким значением q и низким tcf (0 ~ ± 8 ppm / °). C), превосходная устойчивость Fs, Ke^2>10%, отличная теплопроводность и низкая стоимость производства. Кроме того, ожидается, что тонкие пленки LiTaO3 будут стимулировать использование режимов ПАВ с более высокими скоростями звука, что способствует увеличению рабочих частот фильтров и имеет большое значение для удовлетворения требований расширения спектра, предъявляемых технологиями 5G.
Hangzhou Shalom EO предлагает индивидуальные тонкие пленки танталата лития на кремниевых подложках. Доступны различные направления резки, толщина функционального слоя LiTaO3 составляет 300–900 нм на выбор, а изоляционные слои SiO2 являются дополнительными.
